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激光器

產品特點:IXION 193 SLM激光器是一款單頻全固態激光系統,應用于光學計量、193 nm步進光學校準或高功率ArF準分子的帶寬控制等領域。光譜帶寬接近其理論傅里葉極限。

更新時間:2023-06-12

產品型號:IXION 193 SLM

訪問量:60

IXION 193 SLM激光器的詳細資料:

IXION 193 SLM激光器是一款單頻全固態激光系統,應用于光學計量、193 nm步進光學校準或高功率ArF準分子的帶寬控制等領域。光譜帶寬接近其理論傅里葉極限。

該系統的中心波長可定制,范圍在185至194 nm之間,并可在訂購時配置為固定波長。

另外,系統還可以集成一臺絕對光譜精度為0.001 nm的高精度光譜儀。這使得對激光光譜調諧的控制具有最大的精度。

可選

  • 圖形用戶界面

  • LabView庫

  • 精密光譜儀

  • 中心波長:185 ~ 194 nm

  • 符合CDRH的快門

IXION 193 SLM 激光器應用

  • 193 nm 計量

  • 光譜儀校準

  • 干涉度量

  • 準分子種子源

IXION 193 SLM

波長193.368 nm
平均功率10 mW
脈寬typ.8~2ns
脈沖能量1.6 µJ
重頻1~15 kHz
光束質量M2 < 1.6
光譜帶寬< 80 MHz
光譜可調諧性> 10 pm
相干長度> 2 m
脈沖穩定性σ < 2.5 %


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